洁净室是半导体的生产制造过程中不可或缺的重要部分。
洁净室中存在的气体性分子污染物（AMC, Airborne Molecular Contamination）会对产品的良品率造成非常大的影响。
我司（International Green Technology）开发生产的化学空气过滤产品「SolaCiel™」可以对AMC进行针对性去除。
今后将广泛应用于全球半导体行业，为产业的持续发展保驾护航。
空气清洁解决方案
针对气体性分子污染物
(Airborne Molecular Contamination）
进行过滤
Clean Solution
Filtering
Airbone
Molecular
Contamination
滤芯设置场所
空气滤芯产品
蜂窝结构介质的化学滤芯
规格适用于外部空调机组 (AHU)
可有效去除有机气体和酸性气体，具有压损低，发尘少的特点
通过将高含量活性炭粉末材料进行模制加工，实现了特殊的蜂窝状结构
颗粒状活性炭介质化学滤芯
规格适用于外部空调机组 (AHU)
可以在低压损下有效去除有机气体和酸性气体。
其采用的托盘状通用构造非常便于更换。
规格适用于外部空调机组 (AHU)
可以在低压损下有效去除有机气体和酸性气体。
其采用的托盘状通用构造非常便于更换。
褶状介质化学滤芯
规格适用于半导体及电子器件制造设备
可有效去除低浓度有机气体、酸性气体、碱性气体
采用将活性炭和离子交换物质在无纺布之间固着的特殊结构
采用连续通孔介质的化学滤芯
规格适用于风扇过滤器单元 (FFU)
可以在低压损下有效去除有机气体、酸性气体、碱性气体
可以通过堆叠使用以匹配您的使用环境。
采用了将活性炭和离子交换器固着在聚氨酯泡沫上的特殊结构
产品对应表
| 用途 | 型号 | 针对气体 | ||
| 有机 | 酸性 | 碱性 | ||
| 半导体制造装置 电子设备制造装置 |  | ✓ | ✓ | ✓ |
| FFU 无尘工作台 | | ✓ | ✓ | |
| 外部空调机组（AHU） |  | ✓ | ✓ | |
案例
| 气体 | 材料 | 对应课题 |
可冷凝物 挥发物 | TMS, IPA, PGMEA,甲苯,正癸烷, HMDS | 晶圆污染 镜头污染 |
| 酸性 | SO2, H3PO4, CH3COOH | 金属线路腐蚀 晶圆污染 镜头污染 |
碱性 胺 | NH3, NMP, TMA, Morpholine | 晶圆污染 镜头污染 |
| 其它 | H2S | 金属线路腐蚀 |