空气质量微观分析

Analyses microscopiques concernant la qualité de l'air

在当前的半导体行业中，会使用到各种各样的化学药品。例如用于干燥的IPA,以及用于晶圆加工的HMDS等。
除了这些挥发气体之外，存在于大气之中的酸性和碱性气体也被认为是导致工艺缺陷的原因之一。
我司International Green Technology拥有各类能够进行微量分析、测量空气环境中的气体浓度的检测设备，致力于为客户提供最佳的空气净化方案。

检测设备

液相色谱仪

GC-MS 气相色谱质谱仪

ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪

可测量参数

应用场景

无尘室内部

大气环境

化学滤芯的上游/下游

目标

可冷凝物质, VOCs (甲苯, Siloxanes, etc.)
酸性 (F-, Cl-, NO2-, Br-, NO3-, PO43-, SO42-)
碱性 (Li+, Na+, NH4+, K+, Ca2+, Mg2+)
金属 (Al, B, Ca, Cd, Cr, Cu, Fe, Mg, Mn, Na, Pb, Zn, Ni)

测试方法

用TENAX吸附管收集气体后，使用气相色谱质谱仪进行定性和定量分析。
用撞击器收集后，使用离子色谱仪进行简单的定性和定量分析。
用撞击器收集后，使用电感耦合等离子体质谱仪进行定性和定量分析。

如有测量请求或疑问，请随时与我们联系。