La cleanroom est un élément indispensable dans la fabrication des semi-conducteurs. On dit que la présence de contamination moléculaire en suspension dans l’air (AMC), qui fait référence aux substances chimiques présentes dans la salle blanche, affecte significativement le rendement de fabrication. Chez International Green Technology, nous continuerons à soutenir la fabrication des semi-conducteurs dans le monde entier en fournissant notre filtre chimique, SolaCiel™, qui élimine efficacement l’AMC.
Clean Solutions
Filtering
Airbone
Molecular
Contamination
Clean Solutions
Filtering
Airbone
Molecular
Contamination
Placement des filtres dans la cleanroom
Filtres à air
Filtre chimique avec un média à structure en nid d’abeille. Spécifications adaptées aux unités de traitement d’air externes (AHU). Élimine efficacement les gaz organiques et acides, avec une faible perte de pression et une émission minimale de poussière. Cette structure spéciale est obtenue grâce au processus de moulage d’un matériau de poudre de carbone activé à haute teneur, créant ainsi une configuration unique en forme de nid d’abeille.
Filtre chimique avec un média à base de charbon actif granulaire. Spécifications adaptées aux unités de traitement d’air externes (AHU). Élimine efficacement les gaz organiques et acides avec une faible perte de pression. La structure universelle de type plateau utilisée dans ce filtre facilite son remplacement.
Filtre chimique avec un média plissé. Spécifications adaptées aux équipements de fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs électroniques. Élimine efficacement de faibles concentrations de gaz organiques, de gaz acides et de gaz alcalins. La structure spéciale de ce filtre implique la liaison de charbon actif et de matériaux d’échange d’ions entre des tissus non-tissés.
Filtre chimique avec un média poreux continu. Spécifications adaptées aux unités de ventilation avec filtre (FFU). Élimine efficacement les gaz organiques, les gaz acides et les gaz alcalins avec une faible perte de pression. Peut être empilé pour s’adapter à votre environnement d’utilisation spécifique. Présente une structure spéciale qui lie du charbon actif et des échangeurs d’ions sur de la mousse de polyuréthane.
Tableau de correspondance des produits
| Application | Modèle | Pour gaz | ||
| Organiques | Acides | Alkalins | ||
| Équipement de fabrication de semi-conducteurs |  | ✓ | ✓ | ✓ |
| FFU Cleanroom | | ✓ | ✓ | |
| Unité de climatisation extérieure（AHU) |  | ✓ | ✓ | |
Étude de cas
| Gaz | Matériau | Problème |
| TMS, IPA, PGMEA, TOLUENE, N-DECANE, HMDS | Contamination des tranches de silicium Contamination des lentilles |
| Acides | SO2, H3PO4, CH3COOH | Corrosion des fils métalliques Contamination des tranches de silicium Contamination des lentilles |
| NH3, NMP, TMA, Morpholine | Contamination des tranches de silicium Contamination des lentilles |
| Autres | H2S | Corrosion des fils métalliques |