Analyses microscopiques concernant la qualité de l'air

Dans l’industrie des semi-conducteurs, une large gamme de produits chimiques est utilisée dans diverses situations, tels que l’IPA pour le séchage et le HMDS pour le traitement des plaquettes. Ces produits chimiques, ainsi que les gaz volatils et les gaz acides/alcalins présents dans l’atmosphère, sont considérés comme des facteurs contribuant à la survenue de défauts de processus.

Chez International Green Technology, nous avons développé des équipements d’analyse hautement sensibles pour mesurer les concentrations de gaz dans l’environnement atmosphérique. Notre objectif est de proposer une solution de filtrage optimale adaptée à votre environnement spécifique.

Nos équipements

Liquid chromatograph

GC-MS instrument

ICP-MS instrument

Paramètres mesurables

Situation	Dans un environnement de clean room, les conditions atmosphériques sont mesurées en amont/aval des filtres chimiques.
Cible	Substances condensables, VOCs (Toluene, Siloxanes, etc.) Acides (F-, Cl-, NO2-, Br-, NO3-, PO43-, SO42-) Bases (Li+, Na+, NH4+, K+, Ca2+, Mg2+) Métaux (Al, B, Ca, Cd, Cr, Cu, Fe, Mg, Mn, Na, Pb, Zn, Ni)
Method	Après collecte du gaz à l’aide d’un tube d’adsorption TENAX, une analyse qualitative et quantitative est effectuée à l’aide d’un chromatographe en phase gazeuse couplé à un spectromètre de masse. Après collecte du gaz à l’aide d’un piège à impuretés, une analyse qualitative et quantitative simplifiée est effectuée à l’aide d’un chromatographe ionique. Après collecte du gaz à l’aide d’un piège à impuretés, une analyse qualitative et quantitative est effectuée à l’aide d’un spectromètre de masse à plasma à couplage inductif.

N’hésitez pas à nous contacter pour des demandes de mesure, si vous avez des questions spécifiques, etc.