Sola Ciel Tray

 

Sola Ciel PleatやSola Ciel Matに使用されている高性能活性炭を充填した化学濾過フィルタです。有機ガスの除去や薬剤添着により酸性ガスの除去を得意としております。電子機器製造工場の外気吸気フィルタとして採用されています。

 

・ 粒上活性炭メディアを充填したフィルター

・外調機に適した仕様

・低圧損で有機性ガス、酸性ガスに対応が可能

・トレー装着タイプで交換作業が容易な構造

Tools:MAU

フレーム素材:Stainless steel

対応サイズ/mm:610x610x610D 610x305x610D ※カスタマイズ可能

対応ガス

GasMaterialProblem
Condensables
Volatiles
TMS, IPA, PGMEA, トルエン, n-デカン, HMDS,HMDSOウエハの汚染
レンズの汚染
AcidsSO2, H3PO4, CH3COOH金属配線の腐食
ウエハの汚染
レンズの汚染
Bases
Amine
NH3, NMP, TMA, Morpholineウエハの汚染
レンズの汚染