Sola Ciel Tray
Sola Ciel PleatやSola Ciel Matに使用されている高性能活性炭を充填した化学濾過フィルタです。有機ガスの除去や薬剤添着により酸性ガスの除去を得意としております。電子機器製造工場の外気吸気フィルタとして採用されています。
・ 粒上活性炭メディアを充填したフィルター
・外調機に適した仕様
・低圧損で有機性ガス、酸性ガスに対応が可能
・トレー装着タイプで交換作業が容易な構造
Tools
MAU
フレーム素材
Stainless steel
サイズ対応/mm
610x610x610D
610x305x610D
※カスタマイズ可能
対応ガス
| Gas | Material | Problem |
| Condensables Volatiles |
TMS, IPA, PGMEA, トルエン, n-デカン, HMDS | ウエハの汚染 レンズの汚染 |
| Acids | SO2, H3PO4, CH3COOH | 金属配線の腐食 ウエハの汚染 レンズの汚染 |
| Bases Amine |
NH3, NMP, TMA, Morpholine | ウエハの汚染 レンズの汚染 |