Sola Ciel Pleat

 

活性炭等の吸着剤を不織布にサンドイッチした濾材をプリーツ状に折った化学濾過フィルタです。

低濃度低沸点化合物の除去を得意としており高レベルのクリーン度を求められる半導体製造装置に採用されています。

 

・プリーツ構造メディアのフィルター

・半導体・電子デバイス製造装置に搭載可能な仕様

・低濃度な有機系ガス、酸性ガス、塩基性ガスに対応可能

・シート間に活性炭やイオン交換体を高充填した特殊な構造

Tools：FFU

フレーム素材：Aluminum　Stainless steel

対応サイズ/mm：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　610ｘ610ｘ80D,100D,147D　610ｘ900ｘ80D,100D,147D　305ｘ610ｘ80D,100D,147D　　　　　　　　400ｘ610ｘ80D,100D,147D　250ｘ450ｘ80D,100D,147D　※カスタマイズ可能

対応ガス

GasMaterialProblem
Condensables
Volatiles		TMS, IPA, PGMEA, トルエン, n-デカン, HMDS,HMDSOウエハの汚染
レンズの汚染
AcidsSO2, H3PO4, CH3COOH金属配線の腐食
ウエハの汚染
レンズの汚染
Bases
Amine		NH3, NMP, TMA, Morpholineウエハの汚染
レンズの汚染