Sola Ciel Pleat
活性炭等の吸着剤を不織布にサンドイッチした濾材をプリーツ状に折った化学濾過フィルタです。
低濃度低沸点化合物の除去を得意としており高レベルのクリーン度を求められる半導体製造装置に採用されています。
・プリーツ構造メディアのフィルター
・半導体・電子デバイス製造装置に搭載可能な仕様
・低濃度な有機系ガス、酸性ガス、塩基性ガスに対応可能
・シート間に活性炭やイオン交換体を高充填した特殊な構造
Tools
FFU
フレーム素材
aluminum
Stainless steel
対応サイズ/mm
610ｘ610ｘ80D,100D,147D
610ｘ900ｘ80D,100D,147D
305ｘ610ｘ80D,100D,147D
400ｘ610ｘ80D,100D,147D
250ｘ450ｘ80D,100D,147D
※カスタマイズ可能
対応ガス
| Gas | Material | Problem |
| Condensables Volatiles |
TMS, IPA, PGMEA, トルエン, n-デカン, HMDS | ウエハの汚染 レンズの汚染 |
| Acids | SO2, H3PO4, CH3COOH | 金属配線の腐食 ウエハの汚染 レンズの汚染 |
| Bases Amine |
NH3, NMP, TMA, Morpholine | ウエハの汚染 レンズの汚染 |