Sola Ciel Mat
弊社独自の製法で多孔質素材に吸着剤を担持させた化学濾過フィルタです。
ファンフィルタユニット(FFU)に容易に設置でき有機ガス、酸性ガス、塩基性ガスの除去が可能となっています。高いガス除去性能を担保しており、半導体工場や液晶工場等の電子機器製造工場のクリーンルーム向けに採用されています。
・貫通孔構造メディアのフィルター
・ファンフィルタユニット(FFU)に適した仕様
・低圧損でも有機系ガス、酸性ガス、塩基性ガスに対応が可能
・使用ガス環境に合わせて積載搭載が可能
Tools
AHU FFU
フレーム素材
aluminum
Stainless steel
対応サイズ
開口:305mm~1200mm
厚み:40D, 60D, 80D, 100D
※カスタマイズ可能
対応ガス
| Gas | Material | Problem |
| Condensables Volatiles |
TMS, IPA, PGMEA, トルエン, n-デカン, HMDS | ウエハの汚染 レンズの汚染 |
| Acids | SO2, H3PO4, CH3COOH | 金属配線の腐食 ウエハの汚染 レンズの汚染 |
| Bases Amine |
NH3, NMP, TMA, Morpholine | ウエハの汚染 レンズの汚染 |