Sola Ciel Bee
活性炭とセラミックを混合し焼結させた化学濾過フィルタです。
独自製法により活性炭を高配合で焼結しており、有機ガスの除去や薬剤添着により酸性ガスの除去を得意としております。電子機器製造工場の外気吸気フィルタとして採用されています。
・ハニカム構造メディアのフィルター
・外調機に適した仕様
・低圧損、低発塵で有機性ガス、酸性ガスに対応が可能
・活性粉末を高含有率でハニカム状にした特殊な構造
Tools:MAU
フレーム素材:Stainless steel
対応サイズ/mm:610x610x100D 610x305x100D ※カスタマイズ可能
対応ガス
| Gas | Material | Problem |
| Condensables Volatiles | TMS,IPA PGMEA,トルエン ,n-デカン,HMDS,HMDSO | ウエハの汚染 レンズの汚染 |
| Acids | SO2,H3PO4,CH3COOH | 金属配線の腐食 ウエハの汚染 レンズの汚染 |