Sola Ciel Bee

 

活性炭とセラミックを混合し焼結させた化学濾過フィルタです。

独自製法により活性炭を高配合で焼結しており、有機ガスの除去や薬剤添着により酸性ガスの除去を得意としております。電子機器製造工場の外気吸気フィルタとして採用されています。

 

・ハニカム構造メディアのフィルター

・外調機に適した仕様

・低圧損、低発塵で有機性ガス、酸性ガスに対応が可能

・活性粉末を高含有率でハニカム状にした特殊な構造

Tools

MAU

フレーム素材

Stainless steel

対応サイズ/mm

610x610x100D

610x305x100D

※カスタマイズ可能

対応ガス

GasMaterialProblem
Condensables VolatilesTMS IPA PGMEA トルエン  n-デカン HMDSウエハの汚染
レンズの汚染
AcidsSO2 H3PO4 CH3COOH金属配線の腐食
ウエハの汚染
レンズの汚染