Micro-Analysis regarding Air Quality

現在の半導体産業では、乾燥に用いるIPAやウエハ処理にもちいるHMDSなど、多種多様な薬品が様々なシチュエーションで用いられています。それらが揮発したガスに加え、大気中に存在する酸性・塩基性ガスも工程不良に繋がる一因とされています。

当社International Green Technologyでは、微量分析可能な装置を用意し空気環境中のガス濃度を測定することで、お客様の環境に合わせた最適なフィルター提案することを目指しております。

所有する機器

液体クロマトグラフ計

ガスクロマトグラフ質量分析計

誘導結合プラズマ質量分析計

Situation	クリーンルーム内大気環境ケミカルフィルタの上流 / 下流
Target	Condensable, VOCs (Toluene, Siloxanes, etc.) Acids (F-, Cl-, NO2-, Br-, NO3-, PO43-, SO42-) Bases (Li+, Na+, NH4+, K+, Ca2+, Mg2+) Metals (Al, B, Ca, Cd, Cr, Cu, Fe, Mg, Mn, Na, Pb, Zn, Ni)
Method	TENAX吸着管にてガスを捕集した後、ガスクロマトグラフ質量分析計にて定性および定量インピンジャーにて捕集した後、イオンクロマトグラフ計にて簡易定性および定量インピンジャーにて捕集した後、誘導結合プラズマ質量分析計にて定性および定量

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